活性炭吸附脫附催化燃燒是新一代VOC廢氣處理設備，是將吸附濃縮單元和熱氧化單元有機結合起來的一種方法，主要適用于低濃度有機氣體尤其對大風量的處理場合，均可獲得滿意的經濟效果和社會效果。經吸附脫附后轉化成小風量、高濃度有機廢氣，對其進行熱氧化處理并將有機物燃燒釋放的熱量有效利用。

有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，處理后的潔凈氣體經過風機、煙囪高空排放。活性炭經過吸附運行一段時間后達到飽和，啟動系統的脫附催化燃燒過程，通過熱氣流將原來已經吸附在活性炭表面的有機溶劑脫附出來，并經過催化燃燒反應轉化成二氧化碳和水蒸氣等無害物質，并放出熱量，反應產生的熱量經過熱交換部分回用到脫附熱氣流中，當脫附達到一定程度時釋放熱，使脫附加熱達到平衡，系統在不借助外加熱的情況下完成脫附再生過程。